polysilicon相关论文
主要介绍了在NaOH溶液中，利用电化学技术腐蚀制备多晶硅绒面的新方法。实验中，通过改变腐蚀液浓度、腐蚀电压、腐蚀温度等因素，制得一......
电荷耦合器件(CCD)多晶硅交叠区域绝缘介质对成品率和器件可靠性具有重要的影响。将氮化硅和二氧化硅作为CCD多晶硅层间复合绝缘介......
In order to accomplish reliable mechanical design of MEMS, the influences of surface roughness and octadecyltrichlorosil......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
为探究吕家坨井田地质构造格局,根据钻孔勘探资料,采用分形理论和趋势面分析方法,研究了井田7......
The validity of a novel,direct and convenient method for micromechanical property measurements by beam bending using a n......
根据双管板换热器的结构特点，从设计、制造、监造与使用维护方面全过程要点剖析，对主要重点进行系统性进行阐述，并与业内人士全方位交......
The elastic modulus is a very important mechanical property in micromachined structures. Several design issues such as r......
采用动态模拟方法,研究多晶硅生产过程中还原尾气干法回收装置中吸收塔的理论板空间体积、持液量对微量杂质吸收效果的影响。模拟......
从氢气的制备技术出发,分析甲醇制氢、煤制氢、天然气制氢、水电解制氢等氢气制备技术的优缺点及多晶硅生产工艺中的氢气消耗工序,......
基于多晶硅氯硅烷罐区的常规设计按照物料种类、精馏塔类别、分析检测过程等进行储罐配置,导致储罐种类较多、危险级别高、安全风......
对四氯化硅固定床加氢工艺进行了研究,考察了反应温度、压力、n（氢气）/n（四氯化硅）、m（催化剂）/m（硅）等因素对四氯化硅转化率的影响。该工......
多晶硅作为太阳能转换电能的基础材料,近年来受到广泛关注.本文综述了生产多晶硅的各种冶金方法,主要分析各种冶金方法的特点、发......
重点介绍了电子束提纯多晶硅原理、电子束提纯炉工作原理、电子束提纯炉设备结构、电子束炉熔炼时间和熔炼温度选择。在实验环境中......
四氯化硅加氢制备三氯氢硅是新一代多晶硅生产技术中实现副产物四氯化硅变换循环再利用而减少污染的重要手段。在围绕该反应的众多......
硅烷流化床法是生产太阳能级多晶硅的重要技术,流化床反应器床层内的气泡大小和分布特性是影响晶体硅纯度和致密度的关键因素。使......
根据相关热力学数据，首先计算并拟合得到Si-C1-H三元系中气相Cl与H原子的摩尔LL（ncl／nH）与反应达到平衡时的气相Si与C1原子的摩尔比（nsi......
重掺杂多晶硅纳米薄膜具有较大的应变系数和良好的温度特性，是制作力学量传感器的理想压阻材料．为优化多晶硅纳米薄膜的压阻特性，就淀......
测定了椰壳活性炭对多晶硅回收H2中的HCl、Si HCl3和Si Cl4的吸附等温曲线,并用Freundlich方程进行了拟合。在此基础上运用ASPEN A......
应用相关热力学数据研究了改良西门子法还原炉内涉及到的＂Si—Cl—H＂三元系复杂化学反应,进一步研究了温度、压强和初始进料摩尔比n（H......
通过对多晶硅行业工作环境的分析，提出硅粉介质工况下硬密封球阀的一些设计思路。通过分析得出，与常规硬密封球阀相比，多晶硅行业中应......
改良西门子法多晶硅还原生产是一个连续过程,接地已是导致还原生产过程中断的主要因素。针对各种因素的接地问题,提出一种新型计算......
在研制多功能集成压力传感器过程中,对关键材料多晶硅来说,制备的工艺条件对其性能影响较大.讨论了沉积温度、反应气体流量和反应......
为研究高重频皮秒脉冲激光对多晶硅的损伤特性,用不同重复频率的皮秒脉冲激光辐照多晶硅,用扫描电子显微镜对激光辐照后多晶硅的损......
结合活性炭吸附器的应用现状,从活性炭吸附器的工艺性能和设备结构两个方面进行优化设计,设计了一种内置承插式换热组件的新型多晶......
为了降低光的反射,应用染色腐蚀法制备多晶硅的绒面.对多晶硅的绒面进行了反射率和SEM形貌测量.在适当的腐蚀液中制备的3×3 c......
介绍了多晶硅薄膜中的残余应力对微结构性能的影响，分析了应力在线测量技术的必要性。说明了T型微检测结构的测试原理，并基于单T型结......
介绍一种以氮化硅薄膜为压力敏感膜、多晶硅为电阻应变计的压力传感器。该压力传感器先后采用2种不同的平面加工工艺进行加工，实际......
介绍国内外多晶硅的生产和消费情况,对未来市场需求进行了预测。分析了我国多晶硅生产优势和存在的问题,并对我国发展多晶硅产业给......
目前国内多晶硅生产中，还原炉多采用高电压击穿的方式启动，但国外多晶硅生产中多采用低电压击穿，一些进口还原炉采用了低电压启动的结......
对在氢化非晶硅薄膜(a-Si:H)上溅射金属Ni的样品进行金属诱导晶化(MIC)/金属诱导横向晶化(MILC),制备多晶硅薄膜(p-Si)的工艺及薄......
文章介绍了一种太阳能电源供电方案，解决了偏远阀室无电的难题。...
高纯多晶硅是太阳能光伏产业的主要原材料，现阶段生产高纯多晶硅的主流技术为西门子法，但是该方法生产成本居高不下，因此探索低成本高......
设计了一种以多晶硅薄膜作为振动膜片的电容式硅微声传感器.通过有限元法(FEM)对传感器建模,并对其进行静力、模态和谐响应分析.模......
摘 要：屏蔽泵广泛应用于化工行业中，在多晶硅生产输送氯硅烷介质的机泵中98%采用的是屏蔽泵，在实际生产中由于颗粒物、气蚀等问题经常......
本文主要研究金属诱导横向结晶速度与工艺条件的关系,探讨隐含在这些关系背后的制约因素.研究发现金属诱导横向结晶速度在长时间退......
多晶硅后处理生产工艺是多晶硅生成后的二次加工过程,国内目前没有成熟的设计方案。基于多晶硅后处理工程设计经验,介绍了该工艺的......
首先建立了一个横向热驱动微执行器的热流模型。由于这个模型比较全面地考虑了热传导、空气自然对流和辐射散热等各种因素，因而较为......
着重介绍了硅及多晶硅的市场需求,国内外产业概况,云南丰富的硅矿藏资源及开发前景。...
多晶硅铸锭炉是多晶硅制造的关键设备之一,其工艺流程的稳定性、设备控制的稳定性和先进性直接关系到是否能够生产出合格的硅锭,而......
仪表是工业生产的眼睛,关系到工艺流程的稳定性、物料配比的精确性和经济性以及生产过程中人员、设备的安全性。本文分析了发展多......
简要介绍了薄膜、单晶硅和多晶硅太阳能电池板的优缺点以及实现最大功率点跟踪的几种方法。结合温州地区的太阳辐射情况，利用扰动观......
DCS在有效提升多晶硅生产管理水平、优化工艺的同时，其在稳定和可靠性方面对多晶硅生产装置安全运行产生了一些负面影响，如DCS的失电......
利用吉布斯自由能理论对西门子体系进行了热力学分析，梳理了体系中可能发生的系列化学反应。结果表明，多晶硅生产主反应为裂解反应而......
介绍西门子公司的PCS7工控软件在多晶硅工厂的应用实例,包括软件功能、工艺流程等....
多晶硅氢化炉热场部件是影响氢化炉稳定运行的关键因素，通过分析研究原有热场材料存在的缺陷，改进热场结构及材质，以提升热场部件使用......
在多晶硅的生产过程中,会产生大量的工业废水,使用传统的处理方式不能够将废水中的有害物质进行有效的清除,进而造成水资源的严重......
给出了一种新型SiC MOSFET-6H-SiC异质结源漏MOSFET。这种器件结构制备工艺简单，避免了长期困扰常规SiC MOSFET的离子注入工艺难度......
文章主要针对多晶硅生产工艺中还原尾气回收装置换热系统优化进行分析,通过采用过程能量集成与综合优化技术,分析确定该换热网络中......
